六轴并联定位台115.25采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联运动机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。
六轴并联定平台115.25采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
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六轴并联定位台115.25规格参数
分辨率<1nm
***大负载：250g (0.25N)
***大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
***大垂直载荷Fv:2.5N
***大水平力Fh:1.25N
定位器尺寸:115 x 101.4 x 25 mm3
重量:约400克
行程范围：
x- 11 mm
y -11 mm
z -5 mm
Θx：18 °
Θy：20°
Θz：37 °
带纳米传感器-S闭环
***小增量（x，y，z）：1nm
***小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重复精度(xyz全行程）：±200 nm
重复精度(Θxyz全行程）：±10urad
重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
材料和真空可选项目
纳米级距离编码传感器
非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
*多六轴并联定位平台应用案例
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